在半导体行业中都是采用好凯德罗茨真空泵与干泵组成的真空机组，一方面可以减少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范围内获得较大的抽速。由于好凯德罗茨真空泵的轴承和同步齿轮都需要润滑，这润滑油会对真空工艺造成污染。雅之雷德http://www.yazreid.com/解决的办法是在齿轮箱的端盖上外接一段真空管路，并用另一台辅助真空泵将齿轮箱内的压力抽到低于罗茨泵的入口压力。

这样，在这个压力梯度下，齿轮箱内油蒸汽就不会通过迷宫式轴封而进入泵腔造成污染。另外当好凯德罗茨真空泵抽除有害气体时，要求电机传动轴的密封绝对不能泄漏，因而出现了屏蔽电机罗茨泵，确实做到了零泄漏。

好凯德罗茨真空泵机组的特点：

1.好凯德罗茨泵不需要排气阀，可抽除可凝性的脂肪酸蒸汽，是因为泵腔内不发生像机械真空泵那样的压缩现象。

2.好凯德罗茨真空机组中分别由罗茨泵转子、泵腔、转子构成。他们之间都有间隙，互不接触、互不干涉所以也不用润滑油来辅助运转；

3.好凯德罗茨泵能迅速排出被蒸馏的气体，是因为在很宽的压力范围内(1～1 000 Pa)有很大的抽速。

4.罗茨泵转子之所以能够制造出结构紧凑的大抽速泵来是因为具有良好的几何对称性,可以提高转速。

5.好凯德罗茨真空泵机组工作时面积大，振动小；

6.功率小,运转维护费用低，启动快,能够在短时间内达到极限真空；

好凯德罗茨真空机组整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

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