对于真空系统中的高频放电，您了解吗？如果您对其不太了解的话，雅之雷德会为您分析进口真空系统中的高频放电究竟是什么一个状况。高频放电是指放电电源频率在1兆赫以上的气体放电现象。高频放电可以产生稳定的大体积的等离子体，因而是等离子体成膜和刻蚀技术中最常用的放电形式。

真空系统中的高频放电通常所用的电源频率是13.56兆赫，这是因为国际电讯管理局为了防止高频电磁波辐射的能量对通信的干扰，对工业用的频率范围做了规定，其中包括13.56兆赫这个频率。但辉光放电的非线性效应可使放电回路内出现基频的许多谐波，仍有影响通信的高次频波从放电回路中发射出来，在回路中这些谐波辐射的能量比基频波辐射的要小得多。

真空系统中高频放电是如何引起的？

高频放电就是当两个电极间有高频交变电场存在时所引起的放电形式。当放电管两头加上交变电压时，气体中的电子和正离子便在交变电场浸染下发生附加的谐振动。因正离子质量比电子大得多，谐振动振幅很小。当频率较低，谐振动的振幅弘远于南北极间的距离时，电子在每个半周期中都经由解体、放电、熄灭的全过程，这时的放电环境和直流环境一样。当频率较高时，谐振动的振幅远小于南北极间的距离时，由于电子不竭地来回举动，其电离能力将大大加强。因电子谐振动的振幅很小，进人电极的电子数量将大大减少。这样保证气体自持放电的电子将不再由电极发生的二次电子来供给，而是由电子来回举动时由电离发生的电子来供给。这时固然也有少量正离子、光子轰击电极发生二次电子，但由于两个电极的极性不竭发生变化，二次电子的振动标的目的有时与进人电极的电子流标的目的不异，有时相反。因此它对保证自持条件并不有利。

这种高频放电，德国真空系统厂家表示只要有高频电场便可形成，不一定要电极，所以一般又称无极放电。无极放电不仅能在交变的电场下形成，而且可以在交变磁场下形成。因交变磁场能发生祸旋电场，气体中由于残存电离发生的电子在涡旋电场的浸染下环绕磁力线作加速举动，由此发生大量电离。当磁场标的目的沿放电管的轴线标的目的时，涡旋电场将沿半径标的目的逐渐减弱，电子的电离能力也沿半径标的目的减弱，因而形成了沿半径标的目的的电子与离子的浓度梯度。在浓度梯度的浸染下，电子和离子从轴线向管壁扩散。由于电子扩散比离子快，扩散功效，在轴线处呈现正电位，在管壁处呈现负电位，这样又发生了由轴线指向管壁的静电场。

高频放电时的着火电压是放电发生时加在电极上的交变电位差的振幅。这个电压的振幅比直流放电的着火电压低。高频击穿电场强度与气压有关。气压愈高，击穿电场强度也愈大，击穿时的频率也愈高。高频放电在雷达和脉冲技术方面有广泛的应用。以上就是我司分析进口真空系统中的高频放电的详细内容，如果想了解更多关于真空系统的资料，欢迎致电。

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