一般真空系统的设计计算是以总放气量Q为依据的，又根据冶金工艺过程的特点，也要以气源的性质作为设计的依据。即要求设计时对气源的质与量要并重来决定设计方案。

在真空冶炼过程中，气源性质的显著特点是气体温度较高并含有大量灰尘，以及氧气、氢气的成分较多，有时还含有大量带腐蚀性或有毒的气体。因而在一些系统中，通常设有除尘器、过滤器、化学拼和低沮腆等，有时管路还需水冷。有些带腐蚀性气体，如海绵钦的工艺过程，有氯化氢气放出，粉尘物对机械泵油和泵体部件的腐蚀一也相当严重，使泵油不得不经常更换。根据工艺要求，采用罗茨泵和水环泵组成真空系统效果较好。此外还有排出水蒸汽的问题。如真空系统从大气开始抽空，在1~10-1Torr时开始放气，而10-1~10-2Torr时，表面主要放气是空气中的水蒸汽。气镇泵可以部分地解决这个问题。在超高真空系统中的残余气体中氢气较多，也可选用锆铝吸气泵。

雅之雷德http://www.yazreid.com/：以不同的气源性质来选择合适的抽气设备，可使真空系统的作用得到充分的发挥。

任何真空系统都应满足如下动态平衡方程材料的真空性能概述

PS=Q-V.dp/dt

式中 p-真空度[Pa];

S-有效抽速[L/s];

V-真空室容积[L];

Q-气源的出气量[Pa·L/s]。

当dp/dt=0时，真空系统处于抽气与各种气源之间的动态平衡状态，即Po=Q/S (14-2)

Q的来源有以下几种，分别以Q1、Q2、Q3、Q4、Q5表示：

Q1-漏气孔的漏气量;

Q2-真空泵本身构成的气源，如：扩散泵的反扩散气体、返流蒸气、溅射离子泵或冷冻泵申气体的再释等;

Q3-大气通过真空室器壁材料渗透的气体;

Q4——材料的出气;

Qs-材料蒸发、升华的蒸气和分解出来的气体。

上述气源绝大多数都直接或间接地与材料的真空性能有关。

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