除尘器的作用是清除真空系统中气流内的固体粉尘颗粒，用来保护真空泵不被粉尘研磨和损坏，以及保护真空阀门不被阻塞，避免阀板关闭不严，保护真空测量规管不被堵塞和污染，保证好凯德真空系统http://www.yazreid.com/不因粉尘颗粒而工作失常。

根据粉尘从气体中分离出来的方法，除尘器可以分为惯性除尘器、旋风除尘器、过滤除尘器、湿式除尘器、电除尘器5大类。

1、惯性除尘器。惯性除尘器主要用于除掉20μm以上的粗粒粉尘，属于初级净化设备。它的原理是利用粉尘与气体在运动中的惯性力不同，在含尘气流急转向时将粉尘分离。惯性越大，转向越急，除尘效果越好。

2、旋风除尘器。旋风除尘器的原理是含尘气体沿切向进入除尘器外壳与排气管之间，在除尘器形成内外两层旋流，粉尘于外旋流中在离心力的作用下向下移向壳壁沉积于集尘器内；而净化后的气体形成内旋流向上经排气管流出。气体切向速度越大，除尘效率越高。

3、过滤除尘器。过滤除尘器是利用多孔过滤物使含尘气体在惯性碰撞，拦截、扩散、静电力和重力等作用下，其中粉尘沉积在多孔表面或容纳于其中。根据结构的不同又可分为金属网过滤器、金属环过滤器、滤布过滤器及袋式过滤器等。

4、湿式除尘器。湿式除尘器原理与过滤原理较为类似，是以真空泵油或其他低蒸气压油为工质，造成油滴或油膜，使含尘气流通过它们时粉尘发生惯性碰撞，拦截、扩散、重力、静电吸引等效应而被捕集下来。

5、电除尘器。电除尘器主要运用高压电场中的正负带电粒子的定向运动捕集并带走粉尘颗粒。它主要分为管式和板式电除尘器，具有除尘效率高（效率普遍99%以上，粉尘0.1μm以上）、压降低、能耗省（约为[1-8]*10-2kw·h/m3）、处理量大、可处理高温气体（350～500摄氏度） 。

真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

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