高品质钢的生产采用蒸汽喷射泵作为抽真空设备，这也是当时世界上普遍采用的方式。它最大的缺点是运行成本极高，蒸汽消耗量大，能源费用高。而且每次正式使用前都必须试抽几炉，才能达到真空度，刚清理完的大罐情况更加严重。此外，由于经常受过热蒸汽品质波动影响，系统工作状态和工艺效果稳定性较难控制。

由于蒸汽喷射泵抽真空系统具有能耗高、维护量大等缺点，因此干式机械泵组成的真空系统开始受到广泛关注。其中，雅之雷德机电http://www.yazreid.com/对原蒸汽泵组进行改造，改用干式真空泵后节电效果达95%，且实现了免维护。结果证明，机械泵到达深真空时间可达5 min以内，处理后钢水中质量分数在0.00025%以内，工艺效果完全满足包括优质重轨钢在内的高品质钢生产规范要求。

真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

干式真空系统原理：

是指真空系统能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

干式真空系统的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用干式真空系统可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空系统。

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