由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至极高真空设备。这些真空系统设备中的某些设备结构复杂，内部有很多管道和传动机构，有的体积很大，达几十立方米，甚至数百立方米，连接管道和内部管道的总长度可达几公里，焊缝、密封圈的总长度可达数十公里，必须投人很大力量对设备严格进行检漏，所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给检漏工作带来很大困难。以下雅之雷德机电科技http://www.yazreid.com/对设计、加工、安装调试以及运行中的检漏工作做一说明。

1.在设计阶段应考虑的问题

①合理规定真空设备的最大允许漏率，由此再规定各零、部件的最大允许漏率。

②要考虑加工、安装、运转过程中，对不同零、部件(或整个设备)采用哪种检漏仪器和哪种检漏方法。

如采用压力检漏法时，要考虑:

a.容器充气后的耐压性能;

b.容器中有无会被示漏气体腐蚀的材料;

c.检漏时焊缝的位置是否暴露在外面;

d.如何通进示漏气体。

如采用真空检漏法时，要考虑:

a.容器是否允许处于负压状态;

b.检漏仪的连接方法。

③在设计中要避免“寄生空间”，这种“寄生空间”会使检漏的反应时间增长。

④工艺设计要合理。例如，通常只允许容器的一侧有焊缝，如需加强焊缝的强度，在真空一侧应采用连续焊，在非真空一侧则采用断续焊。

2.加工过程中应考虑的检漏问题

(1)焊接件的检漏

真空设备零、部件的焊缝是否需要进行检漏，应根据焊接质量和设备所允许的最大漏率来确定。

焊缝的检漏是在零、部件的加工过程中进行，还是在总装以后进行，需视具体情况而定。例如，在总装后对冷阱内胆的焊缝进行检漏时，由于装配后焊缝不能暴露在外面，即使发现了漏孔也无法进行补焊。又如某些大容器在总装后的容积过大，使检漏灵敏度降得很低，检不出小漏孔，从而达不到检漏的要求。考虑到类似于这样的情况，应在零、部件的加工过程中就对焊缝进行检漏。

已检漏了的零件在对焊缝进行切削加工后，还需要次进行检漏。补焊后的焊缝也需要重新检漏。

(2)其它加工件的检漏

对金属板材一般不需检漏(除铸件外)，但对表面和内部有缺陷(夹渣、气孔、裂纹)的金属材料，则必须进行检漏。

机械加工后的工件一般也不需要检漏。但薄壁管材经弯曲后可能出现裂纹，因此需要对弯曲部位进行检漏。

3、辅助真空系统的功用及组成

对于体积小、放气速率和漏气速率都小的被检件可直接与检漏仪的外接法兰连接进行检漏，无需辅助真空系统。对于漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连接时，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。要在此种情况下进行检漏，只有调节节流阀，使之稍稍开启，但这又会使反应时间加长。此外，被检件初次抽真空时，其中的水气、油蒸气等都可能污染检漏仪，因此也需要有辅助真空系统。辅助系统由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成，次级泵可用扩散泵或罗茨泵(是否需要次级泵视具体情况而定)，前级泵最好用气镇式机械泵（旋片真空泵）。

有些检漏仪本身带有一系列阀门，借助于这些阀门便可用检漏仪的抽气系统对小型的、放气与漏气都不大的被检件完成预抽和检漏工作，而不需另加辅助抽气系统。但是，从保持检漏仪灵敏度的稳定性的观点来看，最好不要用仪器本身的旋片真空泵进行预抽。国外有些检漏仪附有一个辅助抽气系统，使用时较为方便。

4.检漏仪在辅助系统中的位置

检漏仪与辅助系统的连接方式有两种情况，两种方式的特点各不相同。在对清洁的没有大漏的容器进行检漏时，检漏仪应接在前级(低真空)一侧;反之，对于被污染了的容器，要在有大漏的悄况下找出小漏时，检漏仪应处于高真空一侧。连接检漏仪的位置应该是使仪器和被检件之间的流导为最大，使进人检漏仪中的氮浓度较高。

检漏仪接在前级一侧时，前级泵抽速的不稳定会使仪器噪声加大并使检漏灵敏度有所降低，为此最好在前级加一个稳压瓶，或者再串接一个扩散泵。

在设计辅助系统时，应在高真空一侧与低真空一侧都留有连接检漏仪的法兰。

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