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尽管不同罗茨真空机组要求的漏率不同,但是一定要将其控制在范围内,这时候就要进行检测。
对于大型罗茨真空机组的漏率一般采用“定容升压法”测量,但测量的结果是漏率与真空室壁的放气率之和,即装置的漏放率,当放气率很小时可近似忽略时,其结果近似等于漏率。如果漏率较大,真空室内的氮气和氧气的分压强之比就为4 :1;如果漏率较小时,其对应的分压强之比就约为10:1。
好凯德罗茨真空机组的真空室壁的氮气出气率一般很小,因此可用真空室内的氮气分压强来标定它的真空漏放率,利用质谱分析技术和气体动力学方程建立的质谱测量法对其进行检漏和运行期间的状态检测,并且测定漏放率与装置运行期间的热循环次数的关系,随着热循环次数的增加,装置的漏放率会趋于一个较小的稳定值。
罗茨真空机组的漏率不同时,导致其他运行状况也会出现异常,为了控制使用的正常,就要做好这方面工作。
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