真空系统中有哪些真空泵种：

真空系统是由真空室、真空泵或真空机组、真空管道、真空阀门、捕集器及其他真空元件、电气控制系统等组成，广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。真空系统往往由几种真空泵组合而成，根据各自特性在不同领域发挥作用。 

1、主泵

主泵是用于获得所需真空度来满足特定工艺要求的真空泵。根据真空系统所需的极限压力不同，主泵的选择过程中其极限压力一般比系统所需极限压力低半个到一个数量级。

2、粗抽泵

粗抽泵是指从大气压下开始抽气，并将被抽系统压力降低到主泵系统可以开始工作的真空泵。

粗抽泵所达到的压力须小于主泵的启动工作压力。粗抽泵也可以作为前级泵使用。

3、前级泵

前级泵是维持某一个泵的前级压强低于其前级临界压强的真空泵。前级泵也可以作为粗抽泵使用，但须满足预抽时间和预抽的真空度要求。

同时前级泵要求能达到主泵工作所需的预真空条件；在主泵允许的最大排气压力下，前级泵必须将主泵所排出的最大气体量及时排走，前级泵的抽速须按照该泵在实际入口压力时的实际抽速。

4、维持泵

维持泵是指当真空系统中气量很小时，不能有效利用前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的系统所需低压的真空泵。http://www.hokade.com/

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