真空泵设备参数：

主要类型：WLW系列立式无油真空、W型往复式真空泵、2XZ型旋片式真空泵、ZJH型罗茨真空泵、2SK型水环式真空泵、2BA型水环式真空泵、2H型滑阀真空泵、TLZ型真空泵 SL型罗茨鼓风机、JZJH2H型罗茨滑阀式真空机组、JZJHBA型罗茨水环真空机组、JZJP型罗茨水喷射真空机组、JZJHS型罗茨水环真空机组。

真空泵的选择计算：s=2.303v/tlog(p1/p2) 

　　其中： 

　　s为真空泵抽气速率(l/s) 

　　v为真空室容积(l) 

　　t为达到要求真空度所需时间(s) 

　　p1为初始真空度(torr) 

　　p2为要求真空度(torr)

　　活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105 

　　旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105 

　　水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105 

　　罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103 

　 涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3 

　　水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105 

　　油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10 

　　油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

　　分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105 

　　溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

　　钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2 

　　锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10 

　　低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

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