真空泵是材料研究过程中常用和重要的一类设备，主要包括真空感应炉、真空电弧炉、真空电子束炉、真空热处理设备、真空钎焊设备、真空烧结设备、真空镀膜设备等真空泵配件。
   大路通在近几年的真空泵维修或进口真空泵维修过程中，发现多台真空泵在工作过程中出现真空系统燃爆情况，造成炉门突然冲开，打坏设备，致使人员受伤事件的发生。这也是很多人关心的问题之一，豪可徳为大家分析一下，真空泵发生爆燃的部件主要有三个：
  1.真空系统中扩散泵(或油增压泵)发生燃爆
   油扩散泵属于射流真空泵的一种，工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽流作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口排除的过程。
   油扩散泵(或增压泵)在正常工作时油温将达到250℃以上，已超过所用油的闪点，此时如有空气进入就会引起爆炸，而冷空气进入主要由人员误操作造成，其次，由于阀门漏气也可能导致事故发生。
  2.熔炼炉柑锅感应圈爆炸
   熔炼过程中柑锅处于红热状态时，由于漏钢、漏水使炉体内产生水蒸气，蒸汽再与炉内活性物质反应形成可燃气体或可燃气氛，与进入炉体的空气剧烈反应造成炉体爆燃。
真空泵防止意外发生的解决措施
  1.扩散泵或油增压泵防爆措施
  (1)严格按真空设备操作规程执行。启动前检查电气系统、各真空泵、各真空阀、机械、测量、压缩空气、冷却系统等。合上总电源，通水，启动空气压缩机。启动机械真空泵，天冷时要断续启动。机械真空泵运转正常后，打开低真空阀。开低真空测量，待达到要求压力(一般为几Pa)时开预抽阀，加热扩散泵，50min后投入工作。关闭低真空阀，打开主阀。低真空达到一定真空度后，进行高真空测量。当高真空达到要求真空度后，即可接通电源开始工作。
  (2)工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，最后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
  (3)真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
  (4)真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。参照图1，改造前(改前图1中无点划框线部分)，由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀1由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生爆炸。
   改后增加点划线部分(图l)，可以看出在扩散泵真空管路上加一个2x机械真空泵(作维持泵)，可将扩散泵中的气体抽出。同时，气动挡板阀1和2之问实现互锁，可避免扩散泵油蒸汽遇冷空气燃爆现象。真空设备改造后，已运行多年，至今未再发生类似事故。
  2.熔炼炉柑锅感应圈防爆措施
  (1)严格按真空设备操作规程执行。
  (2)操作真空设备的注意事项。①合炉抽真空时需锁炉体锁，但炉体一旦抽上真空就必须打开炉体锁。②整个熔炼过程中，必须随时注意水、电、真空、机械运动部件的状况，发现异常及时处理。③每个熔炼周期结束后应擦拭、检查机械真空泵、增压泵、真空管路、阀门、配电柜、罗茨泵、感应圈大轴、观察孔等。
  (3)出现紧急情况时处置措施。①熔炼过程中当柑锅处于红热状态，发现炉漏钢、漏水时，首先切断感应圈及油增压泵的加热电源、关掉高真空阀，同时撤离不必要的人员。②不得关冷却水。如果有停电的情况，应立即将水冷系统转为自来水供水状态并立即启动应急电源恢复冷却水泵供水。③必须绝对保证感应圈及真空泵的正常供水。④将炉转为抽低真空状态，保持这种状态直到柑锅脱离红热状态，再破炉真空，处理故障。
   真空设备发生燃爆将造成重大损失，轻则损坏设备，重则伤人。对真空设备加装维持泵，并进行真空阀(气动挡板阀1)与放气阀(气动挡板阀2)互锁改造，可有效防比扩散泵、增压泵爆燃事故的发生。

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