真空泵对润滑油主要有以下四个方面的性能要求：
一是适当的粘度，一般40℃运动粘度为ISO32~150。
二是有低的饱和蒸汽压，这是真空泵油的特有要求，这就要求真空泵油的馏分要窄，含有轻馏分要求。
三是有优良的热稳定性和抗氧性能，这与压缩机油相类似。
四是好的分水性和抗泡性，这与压缩机油相一致。
机械真空泵只能使特定空间达到粗真空或低真空。要达到高真空或超高真空，要用喷射式蒸汽流真空泵（增压泵）或扩散式蒸气流真空泵（扩散泵），它们可使空间达到10^(-8kPa)以下。其工作原理与机械真空泵完全不同，它是把工作液通过蒸发器气化并告诉喷出进到被抽真空的空间，把空间中的气体携带到泵的出口，被前置真空泵（机械真空泵）抽去并排除，工作液蒸气在泵壁冷凝再回到蒸发器气化，这工作液就是真空泵油，这里叫扩散泵油。它不仅是润滑油，还是工作液，因而性能要求与用于机械真空泵的润滑油有很大的不同。

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