真空泵配件滤油机包括初滤器、真空蒸发罐、油泵、过滤装置、冷凝器凝汽器）和真空泵等部分不纯净油在大气压力作用下，经初滤器进入真空蒸发罐。油被加热至60℃以上后喷入真空室，成为细小的油滴。油中的水分快速蒸发为水蒸汽，进入冷凝器冷凝后排出。未冷凝的水蒸汽则由真空泵排至大气中。汇集在真空蒸发罐底部、已经蒸发脱水的油被油泵送入过滤装置，滤去油中的固体杂质，进一步吸收掉微量水分。真空泵配件滤油机能显著地提高排除油中水分的效果，双级真空净油机更适用于高压电器用油的提纯。

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