全氟聚醚油(PFPE)分子链饱和，不含氢元素，化学性能特别稳定，抗强氧化剂，与氧相容，不可燃，耐强酸、强碱等化学物质，高温性能稳定，并具有极低的蒸发速率和良好的润滑性能。不仅安全， 且使用寿命长。

      半导体工业在芯片加工过程中必须使用一些特殊的气体与某些具有毒性的强氧化剂，因而要求在工艺加工过程中广泛使用的真空泵具有非常优越的适应性，PFPE因其优异性能而得到广泛使用。尤其在消除火灾或爆炸的危险隐患等方面更是性能卓越。

       全世界对环境保护的要求越来越高。如何处理在真空泵的维修和使用过程中所产生的废油是摆在所有公司面前的一大难题。传统的处理方式是将回收的废油送至当地废油处理厂焚烧。但PFPE是无法燃烧的。也就是说，简单处理使用过的PFPE油会造成永久的环境污染。http://www.hokade.com/

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